plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) tube furnace system

Split Tube furnace

1

1200oC Max. working temperature for < 60 minutes

2

1100oC Max for continuous heating

3

30 segments programmable precision digital temperature controller

4

440 mm length single heating zone and 150 mm length constant temperate zone

5

High purity quartz tube optional from ( click optional bar to choose )

6

3.14"OD x 2.83"ID x 48'' Length

7

One pair of vacuum sealed flange with valves

8

Input power: 208 – 240V AC input, single phase at max. 4KW

 9

Plasma RF Power supply

1

Output Power:   5 -500W adjustable with ± 1% stability

2

RF frequency:  13.56 MHz ±0.005% stability

3

Reflection Power: 200W max.

4

Matching:   Automatic

5

RF Output Port: 50 Ω, N-type, female

6

Noise: <50 dB. 

7

Cooling:  Air cooling.

8

Power :  208-240VAC, 50/60Hz

9

Note:  This RF power supply can accept 50 - 80 mm Max. quartz tube 

 by changing flange

 10

Anti-corrosive 

Pressure Gauge

1

3.8x10-5 to 1125 Torr measurement range

2

Anti-corrosive, gas-type independent 

3

High accuracy and reproducibility at atmosphere for reliable atmospheric

 pressure detection

4

Fast atmospheric detection eliminates waiting time and shortens process cycle

5

Easy to exchange plug & play sensor element

 6

Vacuum Pump 

and valve

1

Heavy Duty Rotary Vane Vacuum Pump (7.8 CFM -240 L/m) with Two Stage Exhaust

 System installed in bottom case with max. vacuum pressure 10-2 torr.

2

 KFD25 adapter and stainless steel pipe are connected between pump and tube 

flange with precision ball valve

3

 Digital vacuum pressure gauge and display are installed with the furnace

 4

 4

Mass Flow meters

1

Four precision mass flow meters (0.02% accuracy) with digital display are installed on 

the bottom case to control

 gas flow rate automatically.

2

MFC 1: Gas flow range from 0~100 sccm

3

MFC 2&3: Control range from 0~200 sccm  

4

MFC 4: Control range from 0~500 sccm

5

One gas mixing tank is installed on bottom case with liquid release valve

6

4 stainless steel needle valves is installed on left side of bottom case to 

control 4type gases mixing manually

7

Gas inlet fitting: four 1/4NPS

8

Gas outlet fitting: four 1/4NPS

 9